电镜实验室-场发射扫描电子显微镜

发布者:周玉立发布时间:2023-06-02浏览次数:453


仪器名称:场发射扫描电子显微镜

厂家:日本Hitachi

型号:Regulus 8230

放置位置:常山港院区B102

所属部门:分析测试中心

仪器联系人:黄利坚15268052097


主要技术指标:

  1. 二次电子像分辨率:0.6nm@15kV0.7nm@1kV20nA

  2. 多探头检测系统:Top/Upper/Lower/PDBSE

  3. EDX分辨率:125 eV (Mn-Ka)


扫描电子显微镜:

  1. 电子束分辨率:0.6nm@15kV0.7nm@1kV

  2. 加速电压:最小着陆电压0.01kV;最大加速电压30kV,电子束流:1pA-20nA,且连续可变

  3. 探测器:样品室二次电子探测器两个;镜筒内探测器:二次电子探测器,可兼顾反映形貌衬度、成分衬度;能量过滤器;独立的背散射电子检测器

  1. 样品台行程:XY轴行程: 110 mmZ轴行程:1.5-40 mmT轴行程:-5°+70°R轴行程:可360度连续旋转

  2. 样品台减速模式:减速场可调范围不小于-3.5kV


能谱附件:

  1. 探测器:分析型SDD硅漂移电制冷探测器,晶体面积80 mm2,有效面积65mm2,高分子超薄窗设计

  2. 重元素能量分辨率:Mn Ka保证优于127eV@计数率130,000cps);保证符合ISO 15632:2012标准。轻元素能量分辨率:F Ka 保证优于64eV@计数率130,000cps);能量分辨率: C Ka 保证优于56eV@计数率130,000cps

  3. 元素分析范围: Be4Cf98

  4. 可进行点、线、面分析,线扫描分析每条线可包含高达8192点,可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。电子图像最高分辨率达8192×8192像素;元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素;可在电子图像上叠加元素分布图;可从面分布图上进行点、线谱图重建

  5. 具有完备的5KV20KV两个无标定量数据库。


应用范围:

SEM扫描电子显微镜微观形貌分析EDX能谱仪元素成份分析。


主要特点:

优异的低电压高分辨成像能力,更好的观察样品表面细节,并且可以防止高分子等样品受热损伤;全新的冷场电子枪,更好的电子枪真空度和柔性flash功能,使冷场电镜的束流大小和稳定性有了明显提升,可满足大束流分析的需求,是一台集高分辨和分析功能于一体的扫描电镜。


样品要求:固态、干燥、无油、无易挥发物质,无铁磁性或强顺磁性;无放射性。