分析测试中心┃X射线光电子能谱仪试运行通知

发布者:周玉立发布时间:2023-12-22浏览次数:10


近期,分析测试中心X-射线光电子能谱仪已安装调试完毕,部分功能具备开放共享条件,20231218日起至115日面向全院开放试运行,试运行期间院内按三折收费,欢迎大家送样测试。


一、仪器信息

仪器名称:X射线光电子能谱仪

厂家:岛津 Shimazu

型号:Kratos AXIS Supra+

放置位置:常山港院区A108

所属部门:分析测试中心

负责人:黄利坚

仪器操作联系人:黄利坚15268052097/ 黄楚云 18857667099 / 蒋倩倩 17812033760


二、主要配置及技术指标

X射线能谱仪配备单色Al/Ag靶、氩团簇离子枪、紫外光电子能谱UPS、空气敏感样品转移器等功能附件,具备单色化XPS、小面积XPS、角分辨XPS、成像XPSUPS等功能。

XPS能谱的主要技术指标如下:

1. Al单色XPS指标(Ag 3d5/2峰半高全宽@强度,测试功率300W)

大束斑(300μm×700μm矩形)能量分辨率和灵敏度:0.45eV@160kcps0.6eV@2.5Mcps

小束斑(Φ15μm)能量分辨率和灵敏度:0.48eV@15kcps0.6eV@25kcps

2. 绝缘体中和效果,能量分辨率和灵敏度优于(PETO-C=OC 1s峰半高宽@C-C/C-HC 1s峰强度,测试功率300W)

大束斑(700μm×300μm)0.68eV@30kcps0.77eV@70kcps;

小束斑(Φ15μm)0.82eV@0.5kcps


三、应用范围

1. 固体表面浅层(1-10nm)元素种类及其化学态的定性和半定量分析

2. 材料梯度剖析:材料深度方向(几十至几百纳米)的元素及其化学态分析

3. 材料小面积XPS、角分辨XPS、成像XPS及紫外光电子能谱分析


四、XPS测试样品须知

1.需按要求填写检测申请单或委托协议,对样品的描述和测量要求需要详细注明,必须填写测量哪些元素窄谱、大致含量、均一还是核壳结构、是否需要刻蚀、是否易磁化吸引、是否易氧化、是否易吸附气体等等;

2.氢和氦元素不能检测;

3.磁性样品需单独进样以污染分析器镜筒;

4.均一的样品越细越好,颗粒度大可自行研磨成细粉或压片(有改变样品化学态的风险)后送样;块状样品需切割成片状(厚度不大于5mm,横向范围也不大于10mm);

5.样品需预先干燥,不得含易挥发性物质(如水、有机挥发物、单质SPIAs、碱金属等),以免污染仪器真空系统;

6.不接受易燃易爆、腐蚀性(比如脱附有或分解后会产生腐蚀性气体)和放射性样品,以免危害人员和仪器安全;

7.平时优先安排常规能谱测试,较为复杂的测试比如惰性气氛下进样将统筹安排时间;

8.数据将以xlsxvms格式保存并发送,接收数据后需自行用软件进行峰位校准(按284.6 eV 标准C 1s峰位移动谱图),并做其它处理;

9.如有其他疑问,请联系仪器相关负责人。


五、收费参考标准

测试项目

收费标准

说明

常规XPS(宽扫+5个元素(含C元素)窄扫谱)

500/样,后续80/元素窄扫谱

磁性样品院内无折扣;

样品表面清洗无院内折扣


UPS(导体、半导体片状样品)

500/

角分辨(含碳元素在内5个元素)

500//

成像分析

1200/元素

深度分析(3小时内)

5000/样,超出后1200/小时

元素线扫或面扫

400/元素

非常规的长时间测试

不低于700/小时,不足1小时按1小时计费;具体收费视实际情况而定

样品表面清洗(Ar+刻蚀)

100/