近期,分析测试中心X-射线光电子能谱仪已安装调试完毕,部分功能具备开放共享条件,2023年12月18日起至1月15日面向全院开放试运行,试运行期间院内按三折收费,欢迎大家送样测试。
一、仪器信息
仪器名称:X射线光电子能谱仪
厂家:岛津 Shimazu
型号:Kratos AXIS Supra+
放置位置:常山港院区A楼108
所属部门:分析测试中心
负责人:黄利坚
仪器操作联系人:黄利坚15268052097/ 黄楚云 18857667099 / 蒋倩倩 17812033760
二、主要配置及技术指标
X射线能谱仪配备单色Al/Ag靶、氩团簇离子枪、紫外光电子能谱UPS、空气敏感样品转移器等功能附件,具备单色化XPS、小面积XPS、角分辨XPS、成像XPS及UPS等功能。
XPS能谱的主要技术指标如下:
1. Al单色XPS指标(Ag 3d5/2峰半高全宽@强度,测试功率300W):
大束斑(300μm×700μm矩形)能量分辨率和灵敏度:0.45eV@160kcps、0.6eV@2.5Mcps;
小束斑(Φ15μm)能量分辨率和灵敏度:0.48eV@15kcps、 0.6eV@25kcps;
2. 绝缘体中和效果,能量分辨率和灵敏度优于(PET,O-C=O的C 1s峰半高宽@C-C/C-H的C 1s峰强度,测试功率300W):
大束斑(700μm×300μm): 0.68eV@30kcps、 0.77eV@70kcps;
小束斑(Φ15μm): 0.82eV@0.5kcps。
三、应用范围
1. 固体表面浅层(约1-10nm)元素种类及其化学态的定性和半定量分析
2. 材料梯度剖析:材料深度方向(几十至几百纳米)的元素及其化学态分析
3. 材料小面积XPS、角分辨XPS、成像XPS及紫外光电子能谱分析
四、XPS测试样品须知
1.需按要求填写检测申请单或委托协议,对样品的描述和测量要求需要详细注明,必须填写测量哪些元素窄谱、大致含量、均一还是核壳结构、是否需要刻蚀、是否易磁化吸引、是否易氧化、是否易吸附气体等等;
2.氢和氦元素不能检测;
3.磁性样品需单独进样以污染分析器镜筒;
4.均一的样品越细越好,颗粒度大可自行研磨成细粉或压片(有改变样品化学态的风险)后送样;块状样品需切割成片状(厚度不大于5mm,横向范围也不大于10mm);
5.样品需预先干燥,不得含易挥发性物质(如水、有机挥发物、单质S、P、I、As、碱金属等),以免污染仪器真空系统;
6.不接受易燃易爆、腐蚀性(比如脱附有或分解后会产生腐蚀性气体)和放射性样品,以免危害人员和仪器安全;
7.平时优先安排常规能谱测试,较为复杂的测试比如惰性气氛下进样将统筹安排时间;
8.数据将以xlsx或vms格式保存并发送,接收数据后需自行用软件进行峰位校准(按284.6 eV 标准C 1s峰位移动谱图),并做其它处理;
9.如有其他疑问,请联系仪器相关负责人。
五、收费参考标准
测试项目 | 收费标准 | 说明 |
常规XPS(宽扫+5个元素(含C元素)窄扫谱) | 500元/样,后续80元/元素窄扫谱 | 磁性样品院内无折扣; 样品表面清洗无院内折扣 |
UPS(导体、半导体片状样品) | 500元/样 | |
角分辨(含碳元素在内5个元素) | 500元/样/度 | |
成像分析 | 1200元/元素 | |
深度分析(3小时内) | 5000元/样,超出后1200元/小时 | |
元素线扫或面扫 | 400元/元素 | |
非常规的长时间测试 | 不低于700元/小时,不足1小时按1小时计费;具体收费视实际情况而定 | |
样品表面清洗(Ar+刻蚀) | 100元/样 |